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PET上に構成したフレキシブルな透明アモルファスIGZO薄膜トランジスタ

資料番号 910591220001
所在等 東京工業大学 元素戦略MDX研究センター 細野秀雄研究室
所在地 神奈川県横浜市緑区
製作(製造)年 2004
調査機関団体 令和4年度鈴木主任調査員
調査票記入日

2023/03/31


高性能パルスレーザーデポジション(PLD)成膜装置

資料番号 910591220002
所在等 東京工業大学すずかけ台キャンパス 科学技術創成研究院 フロンティア材料研究所
所在地 神奈川県横浜市緑区
製作(製造)年 1997
調査機関団体 令和4年度鈴木主任調査員
調査票記入日

2023/03/31


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