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| 資料番号 | 113611610041 |
|---|---|
| 所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
| 所在地 | 東京都港区 |
| 製作(製造)年 | 1989 |
| 調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
| 調査票記入日 | 2014/12/17 |
| 資料番号 | 113611610042 |
|---|---|
| 所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
| 所在地 | 東京都港区 |
| 製作(製造)年 | 1975 |
| 調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
| 調査票記入日 | 2014/12/17 |
| 資料番号 | 113611610043 |
|---|---|
| 所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
| 所在地 | 東京都港区 |
| 製作(製造)年 | 1984 |
| 調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
| 調査票記入日 | 2014/12/17 |
| 資料番号 | 113611610044 |
|---|---|
| 所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
| 所在地 | 東京都港区 |
| 製作(製造)年 | 2001 |
| 調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
| 調査票記入日 | 2014/12/17 |
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