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東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 エッチャー TE5000

資料番号 113611610041
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 1989
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/12/17


東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 拡散炉 全自動横型四段拡散炉 BRUTE XL

資料番号 113611610042
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 1975
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/12/17


東京エレクトロン株式会社製 ウェハ検査装置(プローバ) フルオート プローバ 20S

資料番号 113611610043
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 1984
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/12/17


東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 プラズマ酸化/窒化装置 Trias SPA

資料番号 113611610044
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 2001
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
調査票記入日

2014/12/17


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