(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
プロジェクションプリントカメラ PPC-1 |
資料番号 : 900790131001 |
---|
所在等 | キヤノン株式会社 |
---|---|
所在地 | 東京都大田区 |
製作(製造)年 | 1970 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | キヤノン株式会社 |
調査機関団体 | 平成17年度高橋主任調査員調査分 |
特徴 | 半導体製造のフォトリソグラフィ工程で、原板(フォトマスク)のパターンをウエーハに等倍で露光する日本で初めての投影方式の装置。この装置の発売以前はフォトマスクとウエーハを密着させて光をあてるコンタクト方式が使われていたが、この方式では高価なフォトマスクに損傷が発生した。投影方式では、フォトマスクに損傷が発生しないためコストダウン、歩留まり向上に大きく寄与した。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2005/06/29 |