(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
ウェーハダイシングマシン A-WD-75A |
資料番号 : 113611610010 |
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所在等 | 株式会社東京精密 |
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所在地 | 東京都八王子市 |
製作(製造)年 | 1970 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | (株)東京精密 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 日本初ウェーハダイシングマシンの1号機。3インチウェーハ対応。洗浄装置を備える。薄いブレード(刃)を高速回転させて水を流しながら切る方式を採用。チップ分割工程の精度と能率の向上に貢献。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |