(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
走査型カラーレーザー顕微鏡仕様書 2LM11 |
資料番号 : 113611610009 |
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所在等 | レーザーテック株式会社 |
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所在地 | 神奈川県横浜市 |
製作(製造)年 | 1985 |
種類 | 設計図・文献 |
製作者(社)等 | レーザーテック株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 1985年、世界で初めてカラーレーザー顕微鏡2LM11を発売した。共焦点光学系にヘリウム・ネオン・レーザー(波長633nmの赤色)とアルゴン・レーザー(波長488nmの青色と515nmの緑色に分波)を加え、RGBの3本で構成した走査型顕微鏡である。フルカラーでかつ高速な観察能力は研究開発や品質管理の場で活躍した。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/10/10 |