(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
150mmフルオートUV照射装置 RAD-2000F/6 |
資料番号 : 113611610007 |
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所在等 | リンテック株式会社 伊奈テクノロジーセンター |
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所在地 | 埼玉県北足立郡伊奈町 |
製作(製造)年 | 1984 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | リンテック株式会社 伊奈テクノロジーセンター |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 半導体製造後工程におけるウェハ固定用粘着テープに紫外線を照射する装置です。ダイシング工程では、粘着テープによりウェハを高粘着力、ピックアップ工程では低粘着力で固定する必要があります。本装置は粘着テープに紫外線を照射することで粘着力低下を可能とし、半導体ウェハの薄化に大きく寄与しました。対応ウェハサイズは当時最大の6inchですが、現在は12inch対応の装置が主流となってます。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/09/12 |