47インチ型相当の大型TFT-LCD基板の新製造技術

資料番号 : 100210021441
所在等 ホシデン株式会社
所在地 大阪府八尾市
製作(製造)年 1989
種類 設計図・文献
製作者(社)等 ホシデン株式会社
調査機関団体 社団法人 日本電子機械工業会
特徴 (1)80cm×90cm(47インチ型)相当の大面積基板の製造を可能とした。(2)従来の8倍の面積のガラス基板上にTFT(薄膜トランジスタ)を均一に形成する製造技術。(3)ガラス基板を真空から出さずに製造することができるようになった。・添加不純物のP(リン)をプラズマ処理し,ソースとドレインに選択的・連続的に蒸着させる。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 1998/09/14
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