スパッタリングによるタンタル薄膜抵抗器

資料番号 : 100210021416
所在等 北陸電気工業株式会社
所在地 富山県上新川郡大沢野町
製作(製造)年 1969
種類 設計図・文献
製作者(社)等
調査機関団体 社団法人 日本電子機械工業会
特徴 (1)スパッタリング実用化の先駆的存在。・新技術開発事業団の補助を得て高度な真空技術を要するスパッタリングによる着膜を行った。この頃を境に着膜技術が蒸着からスパッタに移行してきた。(2)タンタルの実用化。・タンタル(Ta)は物理的,化学的に最も安定な金属とされているが,これを抵抗器として,さらには高周波回路用部品として最初に実用化した。
資料公開状況
調査票記入日 1998/06/12
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