チャンネルシールシステム

資料番号 : 107910881058
所在等 ニッタ株式会社 クリーンエンジニアリング事業部
所在地 奈良県大和郡山市
製作(製造)年 1970
種類 量産品、写真
製作者(社)等 ニッタ株式会社
調査機関団体 日本ゴム工業会
特徴 1970年代初頭からのわが国半導体製造勃興期に於いて、体育館並の大空間をクリーンルーム化する要求に対して、施行面、実証面で、これを可能にした革新的な天井フィルターシステムとして多数施工され、半導体業界の発展に大いに貢献した。現在では、クリーンルームの技術進歩により新規設置は途絶えているが、そこで培われたウルトラクリーン技術は、 FFU(ファンフィルタユニット)などの最先端クリーン機器で脈々と伝承されている。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2008/01/30
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