(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
チャンネルシールシステム |
資料番号 : 107910881058 |
---|
所在等 | ニッタ株式会社 クリーンエンジニアリング事業部 |
---|---|
所在地 | 奈良県大和郡山市 |
製作(製造)年 | 1970 |
種類 | 量産品、写真 |
製作者(社)等 | ニッタ株式会社 |
調査機関団体 | 日本ゴム工業会 |
特徴 | 1970年代初頭からのわが国半導体製造勃興期に於いて、体育館並の大空間をクリーンルーム化する要求に対して、施行面、実証面で、これを可能にした革新的な天井フィルターシステムとして多数施工され、半導体業界の発展に大いに貢献した。現在では、クリーンルームの技術進歩により新規設置は途絶えているが、そこで培われたウルトラクリーン技術は、 FFU(ファンフィルタユニット)などの最先端クリーン機器で脈々と伝承されている。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2008/01/30 |