走査電子顕微鏡(2nm、汎用FE-SEM) S-800

資料番号 : 103510401095
所在等 株式会社日立ハイテクノロジーズ
所在地 茨城県ひたちなか市
製作(製造)年 1981
種類 設計図・文献、写真
製作者(社)等 株式会社日立製作所
調査機関団体 日本分析機器工業会
特徴 この装置は、高輝度の電界放出形(FE)電子源を搭載した高分解能走査電子顕微鏡(SEM)であり、当時としては世界最高の分解能2nm(加速電圧30kV)を実現した。また、マイクロプロセッサによる制御技術を導入してFE電子源のデリケートな電圧印加操作を自動化し、FESEMの操作性を飛躍的に向上した。この結果、高分解能像を特徴とするFESEMは急速に普及し、本格的なFESEM時代の先駆けとなった。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2004/01/28
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