(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
走査電子顕微鏡(2nm、汎用FE-SEM) S-800 |
資料番号 : 103510401095 |
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所在等 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ |
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所在地 | 茨城県ひたちなか市 |
製作(製造)年 | 1981 |
種類 | 設計図・文献、写真 |
製作者(社)等 | 株式会社日立製作所 |
調査機関団体 | 日本分析機器工業会 |
特徴 | この装置は、高輝度の電界放出形(FE)電子源を搭載した高分解能走査電子顕微鏡(SEM)であり、当時としては世界最高の分解能2nm(加速電圧30kV)を実現した。また、マイクロプロセッサによる制御技術を導入してFE電子源のデリケートな電圧印加操作を自動化し、FESEMの操作性を飛躍的に向上した。この結果、高分解能像を特徴とするFESEMは急速に普及し、本格的なFESEM時代の先駆けとなった。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2004/01/28 |