イオンマイクロアナライザー(表面分析用) IMA-1

資料番号 : 103510401092
所在等 株式会社日立ハイテクノロジーズ 那珂事業所
所在地 茨城県ひたちなか市
製作(製造)年 1971
種類 設計図・文献、写真
製作者(社)等 株式会社日立製作所
調査機関団体 日本分析機器工業会
特徴 1. 固体試料の表面および深さ方向をイオン線により分析する装置の国産一号機。2. イオン線を試料に照射し、生じる二次粒子のうちイオンを質量分析する。3. 二次イオン分析部(質量分析計)は、静電場と磁場による二重収束形を用い、高感度で全元素の分析に対応する。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2004/01/26
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