(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
超高真空走査形トンネル顕微鏡 JSTM-4000XV |
資料番号 : 103510401068 |
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所在等 | 財団法人国際超電導産業技術研究センター |
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所在地 | 東京都江東区 |
製作(製造)年 | 1990 |
種類 | その他(受注生産品) |
製作者(社)等 | 日本電子株式会社 |
調査機関団体 | 日本分析機器工業会 |
特徴 | スキャナとして、高い固有振動数が得られ、しかも画像ひずみの少ない積層シェアスキャナを採用して高速スキャンを可能とするとともに、電子顕微鏡の技術を利用したドリフトフリーステージが採用されており、ステージの熱拡散が同心円状になるため、高温でもドリフトが非常に小さく、STM像観察が安定に行える。これらは他の装置にはない特徴であり、世界で初めて900℃を越える温度でのシリコン表面の観察に成功した。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2004/01/20 |