(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
日立触媒式PFC分解装置HICDS CD-60、CD-120、CD-200 |
資料番号 : 102610321086 |
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所在等 | 株式会社日立製作所 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1999 |
種類 | その他(受注生産品) |
製作者(社)等 | 株式会社日立製作所 |
調査機関団体 | 社団法人日本産業機械工業会 |
特徴 | 半導体や液晶の製造過程で必須とされているPFC(PerFluoro Compounds)は地球温暖化への影響が大きいので世界的にその削減が求められている。日立製作所は独自の触媒を用いたPFC分解装置を開発、約750℃で99%以上の高い分解率でPFCを分解している。現在は処理ガス量や対象ガスの範囲拡大を図っている。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2002/11/01 |