ノンアクシス型ステージ(通称フラットステージ) NAF3

資料番号 : 101810231051
所在等 ヒーハイスト精工株式会社
所在地 埼玉県川越市
製作(製造)年 1994
種類 試作品
製作者(社)等 ヒーハイスト精工株式会社 廣瀬 和也
調査機関団体 社団法人日本ロボット工業会
特徴 従来の積層方式に替わる平面型3自由度パラレルメカニズムで、接触面は総てコロガリ接触の為に、高精度、高剛性と云う特徴に加えて、低重心であり3軸共駆動系はベースに固定の為、ケーブルラックが不要、部品点数が少なく構造が単純、軽量でコンパクト等多数の特徴を持っている。平面内での調芯、例えば、多色印刷、グラス基板、シリコンウェファの位置合わせ等に応用出来る。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2000/09/21
本データベース記載の画像及びテキストの複製・転載を禁じます

検索結果一覧へ戻る