(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
ノンアクシス型ステージ(通称フラットステージ) NAF3 |
資料番号 : 101810231051 |
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所在等 | ヒーハイスト精工株式会社 |
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所在地 | 埼玉県川越市 |
製作(製造)年 | 1994 |
種類 | 試作品 |
製作者(社)等 | ヒーハイスト精工株式会社 廣瀬 和也 |
調査機関団体 | 社団法人日本ロボット工業会 |
特徴 | 従来の積層方式に替わる平面型3自由度パラレルメカニズムで、接触面は総てコロガリ接触の為に、高精度、高剛性と云う特徴に加えて、低重心であり3軸共駆動系はベースに固定の為、ケーブルラックが不要、部品点数が少なく構造が単純、軽量でコンパクト等多数の特徴を持っている。平面内での調芯、例えば、多色印刷、グラス基板、シリコンウェファの位置合わせ等に応用出来る。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2000/09/21 |