(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
コンビネーションステージ F6-005DE |
資料番号 : 101810231048 |
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所在等 | ヒーハイスト精工株式会社 技術部 |
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所在地 | 秋田県秋田市 |
製作(製造)年 | 1997 |
種類 | 試作品 |
製作者(社)等 | ヒーハイスト精工株式会社 大島 幸司 |
調査機関団体 | 社団法人日本ロボット工業会 |
特徴 | 直動案内軸受と関節部分にSRジョイントを使用したりリンク機構から成る三組の基本ユニットを三角形の辺上に配置して、テーブルを支持する構成の6自由度機構で、XYZ軸方向の移動及び各軸廻りの旋回が可能。高精度、高剛性、コンパクトが特徴で、ステッピングモータ、精密ボールネジの採用により空間での繰り返し位置決めはサブミクロンの精度が期待出来る。このステージは超精密加工のワークテーブルとして利用出来る。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2000/09/21 |