(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
積層型圧電セラミックアクチュエータ |
資料番号 : 101210161065 |
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所在等 | トーキンセラミクス株式会社 |
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所在地 | 兵庫県宍粟郡 |
製作(製造)年 | 1983 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | 日本電気株式会社 |
調査機関団体 | 社団法人日本ファインセラミックス協会 |
特徴 | 積層型圧電セラミックアクチュエータは厚さ0.1ミリ程度の圧電セラミックスと金属電極膜とが交互に数百枚積層一体化されたもので、百ボルト程度の電圧印加に対し0.1%程度の歪を生じる。従来のアクチュエータと比較して変位分解能が高く、高発生力、高効率を特長とし、各種精密機械、OA機器、半導体製造装置等に幅広く実用されている。これは世界に先駆けてNECが開発したもので、現在はトーキンセラミクスで生産されている。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2000/07/17 |