高出力紫外線ランプ UVW-2Q

資料番号 : 100810121272
所在等 日立ライティング機器株式会社 設計部
所在地 東京都青梅市
製作(製造)年 1987
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社日立製作所
調査機関団体 社団法人照明学会(協力:社団法人日本電球工業会、社団法人日本照明器具工業会)
特徴 1987年に、主に半導体産業用の光洗浄用に開発された高出力紫外線ランプである。本ランプは低圧水銀ランプであり、水銀共鳴線の185nmと254nmの紫外線を主として放射する。外観はW字形をしておりランプ下面に均一に紫外線を照射できる。点灯するためには専用の点灯電源が必要であり、紫外線出力が最大となるようにランプの最冷点温度を制御して使用する。紫外線照度は100mW/cm2と高照度を実現している。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 1999/10/25
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