光洗浄装置

資料番号 : 100810121147
所在等 東芝ライテック株式会社 技術企画・管理部
所在地 神奈川県横須賀市
製作(製造)年 1987
種類 量産品
製作者(社)等 東芝ライテック株式会社
調査機関団体 社団法人照明学会(協力:社団法人日本電球工業会、社団法人日本照明器具工業会)
特徴 半導体、電子部品、光学部品分野などの精密洗浄プロセスで使用される光洗浄装置。特殊U字形紫外線ランプの使用により、広範囲の有機汚染物質に対して高い洗浄効果を持っている。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 1999/11/17
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