(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
日本初の半導体製造用クリーンパイプ製造の開始 内面電解研摩方式による超清浄精密細管製造法 |
資料番号 : 100410081044 |
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所在等 | 神戸特殊鋼管株式会社 |
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所在地 | 山口県下関市 |
製作(製造)年 | 1984 |
種類 | その他(実設備) |
製作者(社)等 | 株式会社神戸製鋼所 |
調査機関団体 | 社団法人 日本鉄鋼連盟 社団法人 日本鉄鋼協会 |
特徴 | 半導体製造用超高純度ガス配管用として、組成の清純度、管表面の清純度と平滑度の優れたIDクリーンパイプ製造専用工場を1984年に日本で初めて完成した。その基本技術は内面電解研磨、精密洗浄技術であり、4MDRAM以上の高集積度半導体量産工場の高歩留生産に貢献し、現在も納入実績を重ねている。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 1999/07/21 |