日本初の半導体製造用クリーンパイプ製造の開始 内面電解研摩方式による超清浄精密細管製造法

資料番号 : 100410081044
所在等 神戸特殊鋼管株式会社
所在地 山口県下関市
製作(製造)年 1984
種類 その他(実設備)
製作者(社)等 株式会社神戸製鋼所
調査機関団体 社団法人 日本鉄鋼連盟   社団法人 日本鉄鋼協会
特徴 半導体製造用超高純度ガス配管用として、組成の清純度、管表面の清純度と平滑度の優れたIDクリーンパイプ製造専用工場を1984年に日本で初めて完成した。その基本技術は内面電解研磨、精密洗浄技術であり、4MDRAM以上の高集積度半導体量産工場の高歩留生産に貢献し、現在も納入実績を重ねている。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 1999/07/21
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