縦型拡散・CVD装置 VERTEX-Ⅱ DD-802V,DJ-802V
| 資料番号 | 113611610039 |
|---|---|
| 情報所有館 | 国立科学博物館 |
| 所在等 | 株式会社 日立国際電気 電子機械事業部 富山工場 |
| 所在地 | 富山市 |
| 製作(製造)年 | 1987 |
| 調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
| 調査票記入日 | 2014/10/02 |
| 種類 | |
| 製作者(社)等 | 国際電気株式会社(現 株式会社 日立国際 電気) |
| 資料公開状況 | 公開 |
| 特徴 | 拡散・CVD装置の熱成膜プロセスにおいて、高い成膜均一性能と生産性及び高コストパフォーマンスした初の量産装置である。それまで主力であった横型装置から縦型装置への置換えが進みデバイスの微細化に大きく貢献した。ウェーハの工程間の自動搬送にも対応し、クリーンルーム内の無人化による無塵化にも大きく貢献した。現在の300㎜対応縦型拡散・CVD装置にも受け継がれる基本機能・技術を網羅した装置であった。 |