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家庭用電子レンジの普及とともに電子レンジの多様化が進み、マグネトロンもより小形化が要求されるようになった。昭和49年、日立はロープロファイルシリーズ2M143,2M163を開発して、日立標準品(2M141,2M161)と比較して据付け高さを25mm以上小さく出来るようにした。2M143は400W電子レンジ用、2M163は600W電子レンジ用である。
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日立は、業務用電子レンジや工業加熱用を目的として、小形軽量の1.2kWマグネトロン2M121を昭和50年に開発した。家庭用電子レンジ用マグネトロン2M161の基本構造を活用して量産性の高い構造で、出力部も日立独自の同軸タイプとしている。当時、産業用としては国内で最も軽量のマグネトロンである。昭和53年には、1.4kWマグネトロン2M120が開発された。
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日立は昭和52年、世界で初めて、管球の真空中に永久磁石(アルニコ)を配置し磁気効率を大幅に高めた画期的なマグネトロン2M105(出力550W)を開発・製品化した。磁石の大幅な小形化ともに磁気回路を陽極と一体化した構造とすることにより、マグネトロンは大幅に軽量化された。続いて昭和53年には、日立は低電圧球(3.4kV)2M109、出力800W球2M108(横冷却)、2M115(縦冷却)などを相次いで製品化した。
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昭和61年、日立は業界で最も小型軽量化した900W出力マグネトロン2M214の開発を行った。これに続いて昭和62年には、550W出力のマグネトロン2M223,2M234を製品化して小型軽量マグネトロンシリーズを完成、家庭用電子レンジの小型軽量化に貢献した。2M234の約2/3に扁平化された構造で、扁平な導波管を用いて出力を取り出す方式である。
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産業用マイクロ波応用がより高出力の用途に拡大していることに対応し、国内で初めて出力3kWのマグネトロン2M251,2M252が開発された。フェライト磁石方式の磁気回路を備えており、電子レンジ用と同様に簡便に駆動することができるマグネトロンで、2M251は強制空冷タイプ、2M252は水冷タイプである。
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平成6年に日立から日立マグネトロン事業が移管された日立ディスプレイデバイス(株)(当時の社名:日立エレクトロニックデバイシズ(株))は、平成11年、産業用の6kW出力球H3881を開発、製品化した。永久磁石組込タイプとしては国内で最も出力が高く、小形化された2.45GHz帯CWマグネトロンである。更に、平成13年に7.5kW出力球H0906、平成17年には10kW出力球H0915を開発・製品化した。
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4T超伝導マグネットを用いたジャイロトロン遠赤外領域開発研究センターで開発した一連の高周波ジャイロトロン(Gyrotron FU Series)の1号機、装置の性能:周波数70GHzで出力8kW、周波数100GHzで出力7.5kW 電子スピン共鳴(ESR)研究のための光源として使用
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2.5T超伝導マグネットを用いたジャイロトロン遠赤外領域開発研究センターで開発した一連の高周波ジャイロトロン(Gyrotron FU Series)の2号機、装置の性能:周波数70GHzで出力8kW、トカマクプラズマの散乱計測研究のための光源として使用
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8T超伝導マグネットを用いたジャイロトロン遠赤外領域開発研究センターで開発した一連の高周波ジャイロトロン(Gyrotron FU Series)の3号機、装置の性能:周波数38GHzから400GHzまで可変で出力100Wから10kW、初のサブミリ波発振に成功した。核融合科学研究所のCHSプラズマの散乱計測研究のための光源として使用
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12T超伝導マグネットを用いたジャイロトロン、遠赤外領域開発研究センターで開発した一連の高周波ジャイロトロン(Gyrotron FU Series)の4号機、装置の性能:周波数200GHzから636GHzまで可変で出力100Wから1kW、出力振幅、周波数の安定化及び変調を達成した。
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