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0.1μmL/Sの超高分解能を実現したウエハ外観検査システム。266nmDUVレーザ光学系を外観検査装置として世界で初めて搭載し、可視光では得られない観察の可能性が広がった。 可視光での低倍観察から15000xという超高倍率DUV観察まで、光学顕微鏡と同等の簡単な操作性を可能とした装置であるとともに、高精度な測長機能により微小寸法測定に威力を発揮した。
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ズーム変倍式実体顕微鏡。従来のステップ変倍式に比べ、観察倍率の選択が容易で、変倍時に像が途切れることがないなど使い勝手が飛躍的に向上した。ニコンのカメラ用ズームレンズの技術を活かし、左右の倍率差や変倍時のピントずれが最小限になるよう精密な機械加工、光学調整が施されている。高度成長期の時計や半導体の組み立て工程に多数導入された。ズーム比は5。総合倍率は接眼レンズ、対物レンズの組み合わせにより4~120倍。
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国産初の平行光学系実体顕微鏡。平行光学系につきものの複雑な収差を高い光学設計技術、特殊分散ガラスや精密加工技術により克服した。平行光学系を採用することにより共覧鏡筒や同軸落射照明などの種々のオプションとの組み合わせにより多様な観察方法が可能になり、生物学や産業分野での実体顕微鏡の応用範囲を広げた。総合倍率は対物レンズ、接眼レンズの組合せにより6.6~160倍。
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業界初のマイクロスコープ。 拡大画像をモニタで表示、同時に多くの人数で観察ができる。 画像データを保管できる。(2.0inch) ハンディで操作・サンプルに接触、非接触での観察が可能。 光の照射角度を任意に変更できる。 (可変照明 特許取得・権利期間終了) 搭載CCDカメラ 32万画素。
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レンズ部を小型化 レンズ・カメラ・照明が一体化により容易に観察できる。 メインコントロール部をユニット化(CCU部と照明を一体化) レンズ交換を容易になる。 レンズ種類が増え15インチモニタ倍率∞~2000倍までをカバー。 搭載CCDカメラ 32万画素・42万画素
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持ち運びを可能にしたオールインモデル。 メインコントロール部に液晶モニタ搭載。 記憶装置 PCカードと3.5inchフロッピーディスク搭載。 2D計測機能搭載。 ニーズに合わせて機能選択が可能となる。 搭載CCDカメラ 90万画素
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軽量化を実現。持ち運びが更に容易になる。 照明にメタルハライドランプを採用。 計測機能を記録機能の切り替えモード搭載 ズームレンズ開発により操作効率が向上した。 搭載CCDカメラ 90万画素
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デジタルCCDカメラ 211万画素仕様搭載。 コンパクトフラッシュカード対応記憶装置搭載。 3種類のズームレンズ開発 計測・記録機能向上。 15inch液晶モニタ採用 フォーカスインジケータ等の観察支援ツール搭載。
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デジタルカメラと液晶モニターを内蔵し、目で直接覗かなくても、かつ多人数で同時に観察が可能な顕微鏡。当時急速な勢いで普及しつつあったPCとつなぎ、画像を保存したり顕微鏡をコントロールしたりする事ができた。今では当たり前となったデジタル顕微鏡の先駆けであると自負している。また、現在我々が生産しているHDMIインターフェースの顕微鏡や、2K/4K高精細カメラ・モニター内蔵顕微鏡の基礎となった記念すべきものである。
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