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万能顕微鏡アポフォト

対物レンズの開口数に合わせて光源像の大きさを変えるズームケーラー透過照明系を採用。反射照明、透過・反射同時照明を備え、さらに位相差、偏光、 微分干渉、蛍光などさまざまな装置によって観察が可能。各種写真や映画撮影もできる万能顕微鏡。顕微鏡では初めて工業デザイナーを採用し機能的かつユニークなデザインとなった。

情報所有館 : 国立科学博物館 


研究用生物顕微鏡バイオフォト

アームユニット交換方式により、生物顕微鏡・金属顕微鏡・蛍光顕微鏡など各分野での専用機としての性能を持つ。光学系は世界初のCF(Chromatic Aberration Free)システムを採用。対物レンズで補正しきれない倍率色収差を接眼レンズで補正するというコンペンゼーション方式から脱却し、対物レンズ単体で倍率色収差まで補正した。これによって観察画像だけでなく、カメラ等のシステムの画像品質が向上した。

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倒立顕微鏡ダイアフォト

世界初のCF(Chromatic Aberration Free)光学系を採用した倒立顕微鏡。カメラポートを2か所に設けて、培養研究のためのシステム性を飛躍的に向上させた。倒立顕微鏡に本格的な蛍光装置を搭載し、生きた細胞のカルシウムイオン濃度の蛍光観察を可能にし研究の発展に貢献した。

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レーザー共焦点顕微鏡

三次元的な動態観察と生体内物質の定量化を可能にした落射蛍光コンフォーカル顕微鏡。 世界に先駆けてレゾナントミラーを採用。高速スポット走査を可能にし、33msec/1フレームを実現した。 同時に蛍光測光を利用して生体内物質の定量化を可能とするよう紫外線域対応の光学系を構築したことにより、カルシウムイオン濃度測定における定量性を持たせたリアルタイム画像の実験を可能にした。

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研究用生物顕微鏡エクリプス

無限遠補正光学系CFI60を採用。光学性能とシステム性を両立させるため、結像レンズ(第2対物レンズ)の焦点距離を200mm、対物レンズの同焦点距離を60mm、対物レンズネジ径を25mmとした。世界初の0.5X対物レンズやシステムの拡張性と高い光学性能を確保したモジュールの装着で、各種観察ニーズに幅広く対応した。

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微分干渉顕微鏡(金属)

光学的原理は当社研究所山本忠昭主任研究員とパリ大学モーリス・フランソン教授の共同研究により発明考案された。偏光を利用したシャリングタイプの干渉顕微鏡(金属用)で、シャー(横ずらし)量を分解能の範囲内にとどめた特徴がある。ポラライザー、シャーする働きをするサバールプレート、アナライザーから成り、試料表面の微細構造(段差)の変化を明暗や色の差として検出でき鳥瞰図的に知ることができる。

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ホールマイクロスコープ

本機は、焦点深度を極端に深くした特殊対物レンズと特別な接眼部により、円筒状の小孔をスリバチ状にして、小孔全体の形状や内壁を観察、検査できるユニークな顕微鏡。プリント配線基板の小孔検査、ビス・ネジなどのネジ孔検査、噴射器などのノズルの検査、機械・電機・電子部品の小孔の形状検査などと応用範囲も広く、生産ラインなどで広く使われた。

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サーフィスフニッシュマイクロスコープ

光の干渉原理と照明法で表面粗さを光学的に測定する顕微鏡で、触針式の表面粗さ測定に比べて被検物を傷つける恐れがなく、測定精度も高いのものが得られた。多重干渉法、二光束干渉法、光切断法、金属顕微鏡の四つの機能を一台で果たす。測定範囲も200μm~5nmまでと広く、表面アラサの万能機と言え、非接触測定と相まって、機械加工面や研磨面などの表面粗さ測定分野で広く浸透した。

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LSI検査顕微鏡オプチフォト

超LSIの高集積化とウエハーサイズの大型化に対応したLSI検査顕微鏡。無限遠補正光学系CF&ICの採用、ニコン独自のピンホール照明、CAE構造解析による高剛性ボディで、高解像力化・高焦点深度化と操作性を飛躍的に向上させた。クォーターミクロン・ルールLSIの検査を可能にし、16M/64MDRAMから256MDRAMまで対応している。

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IC検査顕微鏡1型

当社の初の半導体集積回路用フォトマスクやウエハーの外観検査顕微鏡。最大6インチフォトマスクの観察が可能。CF(Chromatic Aberration Free)光学系の採用と堅牢で大型のアームとスタンドの安定性の良い鏡基により、高解像力、ハイコントラストな観察画像を実現。目的により明視野・暗視野・偏光・微分干渉などさまさまな観察を可能としている。集積回路の生産性向上に貢献した。

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