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集束イオンビームで成形したX線マスク

等倍X線リソグラフィ用のマスクであり、当時としては最先端の200nm最小寸法のパターンを、電総研で開発した集束イオンビームで描写、ドライエッチ工程等を経て試作した。高精度加工が困難であった、薄膜上のWなどの吸収体パターン形成を、製膜法、条件の検討により、非晶質、低応力の製膜に成功し、かつ、集束イオンビームによる近接効果の無いリソグラフィプロセスを新たに開発し、先端X線マスクの試作に成功した。

情報所有館 : 国立科学博物館 


チャープ超格子の試作サンプル

電子技術総合研究所が提案したチャープ超格子素子は負性抵抗特性を自由に設計でき、インピーダンスも低くすることが出来た。その素子の作製にあたっては、同じく電子技術総合研究所が開発した位相制御エピタキシ法を利用することにより、素子の要求する結晶成長精度をはじめてクリアすることが出来た。2種(AlGaAsとGaAs)の半導体結晶を結晶内電子波の波長と同程度の薄さで積層構造としたもので、特定の電圧で電流が特異的に減少する特性を持つ。

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逆磁場ピンチ核融合プラズマ装置

定格プラズマ電流の半分(0.5MA)までにおいて温度、密度、閉じ込め時間が比例則に従うことを実証、高閉じ込めモードの発見。国内最大規模。小型装置から順次、シリーズとして開発してきた。その成果として展示の意義あり。

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有機超伝導体(BEDT-TTF) 213結晶(分子模型)

対になって展示されていた超伝導体の実物の方(ほぼ同じ大きさのケース入り)は、破損して展示ケースのみになっている。この有機電子材料は高性能コンデンサー用として三洋電機により製品化された。

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交直変換用標準器

交直電圧、電流の計測のための国家標準であり、その目的で真空熱電対を利用した第1号器である。トランジスタ技術の利用が計測器の性能を飛躍的に向上させ、より精密な交流電圧、電流標準の確立と整備に向け産業界の要望が急激に高まった。

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自由電子レーザ

可視から紫外域の短波長自由電子レーザーの発振をめざし、電子技術研究所では住友電工_や川崎重工_と共同で1981年から1990年までの間に5種類の小型リングを開発した。写真の模型は5台目のもので、0.5GeVのレーストラック型リングと呼ばれ、このリングの直線部は紫外域自由電子レーザーを発生できるような設計がなされている。

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大出力KrFレーザーシステム

ナノ秒及びピコ秒パルス発振器、4台の電子ビーム励起型増幅器、パルス幅圧縮用光学系などから成り立つこの装置はSuper-ASHURA(ASHURAとはAdvanced System for High Power UV-Radiation Appricationsの意)と呼ばれ、紫外光を高効率で発生させるKr-Fエキシマレーザーの開発及びそれを用いてレーザー核融合の高効率化、X線レーザーの短波長化の研究に使用された。製作年:昭和年代

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水素ガス圧縮機

本装置は、燃料研究所に昭和16,17年頃に設置された石炭液化装置用の圧縮機として製作されたもので、毎時5立方mの水素ガスを1000気圧まで圧縮でき、この能力は当時我が国最高であった。同所は昭和11年頃に圧力300気圧で1日処理量2〜4トンの石炭液化装置を完成し、昭和16年夏まで運転を行い、1週間の長時間運転に成功していた。さらに高圧の装置を用いることによって良質な軽質油の得率を上げることを目指したものと思われるが、装置各部の調整に努めるうちに戦争は末期に入り、本格的な石炭液化試験の実施にいたらないまま終わったようである。

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セタン価測定用CFR試験機関

セタン価測定用のCFR試験機関は、圧縮比可変の乱流燃焼室付の単シリンダー水冷式4サイクル機関であり、セタン価の測定は、圧縮比を変化させて燃焼条件を一定させた条件でセタン価が既知の標準燃料と着火性を比較することで測定する。このCFR試験機関は、燃料研究所がディーゼル燃料のセタン価を測定する目的で、米国Waukesha社から輸入したもので、当時、我が国にはこれを有する施設は数ヵ所しかなかった。

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全断面掘削機掘削ヘッド

公害資源研究所で試作された全断面掘削機は、我が国独自技術により開発されたもので、本掘削ヘッドにおける岩石破砕機構は掘削動力軽減のための特殊な工夫がこらされており、その構造には特許が与えられている。本掘削ヘッドの直径は2.3mであり、実際の坑道掘削用としては幾分小口径であるので、本機の機構を基礎として直径4.2mの掘削ヘッドを有する実用機の開発が新技術事業団の研究開発課題として採択され、住友重機械工業_に製作委託が行われ、完成後住友奔別工業所において坑道掘削に使用された。

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