(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
縮小投影型露光装置 NSR-1505G2A |
資料番号 : 900790131004 |
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所在等 | 株式会社ニコン 熊谷製作所 |
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所在地 | 埼玉県熊谷市 |
製作(製造)年 | 1984 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | 株式会社ニコン |
調査機関団体 | 平成17年度高橋主任調査員調査分 |
特徴 | NSR-1505Gは高解像度と高スループットを合わせて実現し、半導体メーカーの256Kビット超LSIの生産ラインに本格的に採用されるようになった。解像度:1.0μm以下(フォトレジスト1.0μm厚)。N.A.:0.35。露光波長:g線(436nm)。投影倍率:1/5。露光範囲:□15~12x17.5。総合アライメント制度:0.25μm以内(2σ・オート) |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2005/07/15 |