縮小投影型露光装置 NSR-1505G2A

資料番号 : 900790131004
所在等 株式会社ニコン 熊谷製作所
所在地 埼玉県熊谷市
製作(製造)年 1984
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社ニコン
調査機関団体 平成17年度高橋主任調査員調査分
特徴 NSR-1505Gは高解像度と高スループットを合わせて実現し、半導体メーカーの256Kビット超LSIの生産ラインに本格的に採用されるようになった。解像度:1.0μm以下(フォトレジスト1.0μm厚)。N.A.:0.35。露光波長:g線(436nm)。投影倍率:1/5。露光範囲:□15~12x17.5。総合アライメント制度:0.25μm以内(2σ・オート)
資料公開状況 非公開
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