回折格子刻線機(ルーリングエンジン) ニコン・オリジナル型(2号機)

資料番号 : 900790131003
所在等 株式会社ニコン 熊谷製作所
所在地 埼玉県熊谷市
製作(製造)年 1971
種類 その他(社内設備)
製作者(社)等 株式会社ニコン
調査機関団体 平成17年度高橋主任調査員調査分
特徴 自社製品のモノクロメータや分光光度計に使う回折格子を自給するための生産設備として作られた。サブミクロンの位置決め制御が実用化され、この制御技術がステッパーに生かされることになった。
資料公開状況 非公開
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