プロジェクションプリントカメラ PPC-1

資料番号 : 900790131001
所在等 キヤノン株式会社
所在地 東京都大田区
製作(製造)年 1970
種類 量産品
製作者(社)等 キヤノン株式会社
調査機関団体 平成17年度高橋主任調査員調査分
特徴 半導体製造のフォトリソグラフィ工程で、原板(フォトマスク)のパターンをウエーハに等倍で露光する日本で初めての投影方式の装置。この装置の発売以前はフォトマスクとウエーハを密着させて光をあてるコンタクト方式が使われていたが、この方式では高価なフォトマスクに損傷が発生した。投影方式では、フォトマスクに損傷が発生しないためコストダウン、歩留まり向上に大きく寄与した。
資料公開状況 非公開
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