自社開発 精密示差屈折計

資料番号 : 113811630018
所在等 株式会社 オハラ 
所在地 神奈川県相模原市
製作(製造)年 1986
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 オハラ
調査機関団体 一般社団法人 日本光学硝子工業会
特徴 半導体露光機用高均質ガラスの需要増での精密屈折率測定数増と、紫外線波長での測定要求に対応するために精密示差屈折計を1986年自社開発した。従来はプリズム研磨試料を使った分光計測定であったが、本装置では90度の精密研削仕上げ試料を使い、光学系と検出部に多くの工夫を盛り込んで測定作業を簡易化し、従来比4倍以上の能力増での精密屈折率測定を実現させた。本装置は現在も屈折率の品質保証を支えている。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2015/08/11
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