i線用高均質性光学ガラス

資料番号 : 113811630003
所在等 株式会社 オハラ 
所在地 神奈川県相模原市
製作(製造)年 1991
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 オハラ
調査機関団体 一般社団法人 日本光学硝子工業会
特徴 i線用高均質性光学ガラスは半導体製造装置及び関連装置(照明用)などの高精細光加工設備に使用されている。世界で一番早く取り組み1991年にi線用高均質性光学ガラス12硝種のラインアップを完成した。光学的均質性Δn±0.5×10-6 を実現し、紫外線領域の光線透過性が良好で光線耐久性にも優れている。
資料公開状況 公開
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