(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
i線用高均質性光学ガラス |
資料番号 : 113811630003 |
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所在等 | 株式会社 オハラ |
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所在地 | 神奈川県相模原市 |
製作(製造)年 | 1991 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | 株式会社 オハラ |
調査機関団体 | 一般社団法人 日本光学硝子工業会 |
特徴 | i線用高均質性光学ガラスは半導体製造装置及び関連装置(照明用)などの高精細光加工設備に使用されている。世界で一番早く取り組み1991年にi線用高均質性光学ガラス12硝種のラインアップを完成した。光学的均質性Δn±0.5×10-6 を実現し、紫外線領域の光線透過性が良好で光線耐久性にも優れている。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2015/07/08 |