(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 プラズマ酸化/窒化装置 Trias SPA |
資料番号 : 113611610044 |
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所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
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所在地 | 東京都港区 |
製作(製造)年 | 2001 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 東京エレクトロン山梨株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 東京エレクトロン・プラズマ酸化・窒化装置 『Trias SPA』 ウェハの超微細加工のためにプラズマを利用して超高精度の酸化・窒化を行う装置。プラズマ源に東北大学が開発した画期的なRLSA(Radial Line Slot Antenna)技術を世界で初めて採用しプラズマ衝撃によるウェハへのダメージを大幅に低減しました。産学官連携の技術開発により平成15年、内閣総理大臣賞を授与されました。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/12/17 |