東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 プラズマ酸化/窒化装置 Trias SPA

資料番号 : 113611610044
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 2001
種類 写真
製作者(社)等 東京エレクトロン山梨株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 東京エレクトロン・プラズマ酸化・窒化装置 『Trias SPA』  ウェハの超微細加工のためにプラズマを利用して超高精度の酸化・窒化を行う装置。プラズマ源に東北大学が開発した画期的なRLSA(Radial Line Slot Antenna)技術を世界で初めて採用しプラズマ衝撃によるウェハへのダメージを大幅に低減しました。産学官連携の技術開発により平成15年、内閣総理大臣賞を授与されました。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/12/17
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