(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
東京エレクトロン株式会社製 ウェハ検査装置(プローバ) フルオート プローバ 20S |
資料番号 : 113611610043 |
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所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
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所在地 | 東京都港区 |
製作(製造)年 | 1984 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 東京エレクトロン山梨株式会社(現・東京エレクトロンTS株式会社) |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 東京エレクトロン・フルオートプローバ―『20S』 プローバ―(Prober)は、半導体製造工程においてウェハをチップに切り出す直前の最終検査工程で使用されます。 従来時間と手間がかかっていたプローバ―装置上でのウェハアライメントに画期的な画像処理技術を採用し全自動化。 また省スペースながら100枚一括検査を可能にし飛躍的に生産性を向上させました。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/12/17 |