(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 拡散炉 全自動横型四段拡散炉 BRUTE XL |
資料番号 : 113611610042 |
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所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
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所在地 | 東京都港区 |
製作(製造)年 | 1975 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | テル・サームコ株式会社(現・東京エレクトロン東北株式会社) |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 拡散炉は半導体製造工程の初期において、ウェハに酸化膜や窒化膜を形成する装置です。 1975年に当時、米国THERMCO(サームコ)社と東京エレクトロンのジョイントベンチャーであったテル・サームコ社(現・東京エレクトロン東北㈱)から発売された横型四段拡散炉BRUTE XL。 日本で初めてボートローダとエレベータのメカニズムを含むウェハ処理の全工程を自動化し、拡散工程における飛躍的な生産性の向上を実現しました。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/12/17 |