東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 拡散炉 全自動横型四段拡散炉 BRUTE XL

資料番号 : 113611610042
所在等 東京エレクトロン株式会社
所在地 東京都港区
製作(製造)年 1975
種類 写真
製作者(社)等 テル・サームコ株式会社(現・東京エレクトロン東北株式会社)
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 拡散炉は半導体製造工程の初期において、ウェハに酸化膜や窒化膜を形成する装置です。  1975年に当時、米国THERMCO(サームコ)社と東京エレクトロンのジョイントベンチャーであったテル・サームコ社(現・東京エレクトロン東北㈱)から発売された横型四段拡散炉BRUTE XL。 日本で初めてボートローダとエレベータのメカニズムを含むウェハ処理の全工程を自動化し、拡散工程における飛躍的な生産性の向上を実現しました。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/12/17
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