(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
東京エレクトロン株式会社製 半導体製造装置 フォトレジスト塗布現像装置(コーター・デベロッパー) CLEAN TRACK MARK V(マークファイブ) |
資料番号 : 113611610040 |
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所在等 | 東京エレクトロン株式会社 |
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所在地 | 東京都港区 |
製作(製造)年 | 1988 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 東京エレクトロン九州株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | コーターデベロッパーは半導体製造のフォトリソグラフィ工程においてウェハ上に感光液を塗布し、リソグラフィ装置による回路パターン転写の後、現像する装置です。 1988年発売のCLEAN TRACK MARK Vはウェハ搬送機構を従来のベルト搬送から高効率ロボットアーム方式に切り替え、装置の革新的な高生産性化、省スペース化を実現した装置です。 現在の先進的なコーターデベロッパー装置の先駆となる装置です。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/12/17 |