(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
比抵抗測定器 RM1 |
資料番号 : 113611610037 |
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所在等 | 株式会社 国際電気セミコンダクターサービス 上市事業所 |
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所在地 | 富山県中新川郡上市町 |
製作(製造)年 | 1961 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 国際電気株式会社(現 株式会社 日立国際 電気) |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 1961年8月、国産一号機であるシリコン単結晶性能測定用の比抵抗測定器を開発・発売した。ウェハーサイズ10mm用の比抵抗測定器。その後ウェハ-大口径化に伴いシリーズ化され、現在12インチ用測定器に至る。8インチ用(VR-70)から自動化が進み、移載機付も開発・販売している。販売台数はRM1から始まり、現在のVR300DSEまでシリーズ累計で1965台となる。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/17 |