(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
ドライ真空ポンプ |
資料番号 : 113611610035 |
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所在等 | 荏原製作所 精密・電子事業カンパニー |
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所在地 | 神奈川県藤沢市 |
製作(製造)年 | 1985 |
種類 | 複製(レプリカ) |
製作者(社)等 | 荏原製作所 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 荏原製作所が半導体製造装置向けに開発したドライ真空ポンプ初期型である。最大排気速度7000L/min、到達圧力0.5Paの性能を有したルーツ形で、3段メインポンプ(3.7kW)と3段ブースタポンプ(2.2kW)を組合せている。動力源は汎用モータで、オイルシールによる軸封機構を設けている。本ポンプは、半導体製造メーカにおいてエッチャー等の実使用環境下での評価を実施し製品化に至った。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/09/25 |