CMP装置 F-REX200

資料番号 : 113611610034
所在等 荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
所在地 神奈川県藤沢市
製作(製造)年 2000
種類 試作品
製作者(社)等 荏原製作所
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 ドライイン/ドライアウトをコンセプトとした200mm対応のCMP装置で、ウェーハの研磨処理部と研磨後の洗浄・乾燥処理部を一体化することで、他の半導体製造装置と同様にクリーンルームに設置可能な装置として開発され、多様なCMP プロセスに対応可能なハイスループット型クリーンCMP 装置として、多くのユーザーに採用いただいている。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2014/09/25
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