(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
CMP装置 F-REX200 |
資料番号 : 113611610034 |
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所在等 | 荏原製作所 精密・電子事業カンパニー |
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所在地 | 神奈川県藤沢市 |
製作(製造)年 | 2000 |
種類 | 試作品 |
製作者(社)等 | 荏原製作所 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | ドライイン/ドライアウトをコンセプトとした200mm対応のCMP装置で、ウェーハの研磨処理部と研磨後の洗浄・乾燥処理部を一体化することで、他の半導体製造装置と同様にクリーンルームに設置可能な装置として開発され、多様なCMP プロセスに対応可能なハイスループット型クリーンCMP 装置として、多くのユーザーに採用いただいている。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/09/25 |