全自動ワイヤボンダ― SWB-FA-UT-3

資料番号 : 113611610033
所在等 株式会社 新川
所在地 東京都武蔵村山市
製作(製造)年 1977
種類 量産品
製作者(社)等 株式会社 新川
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 全自動ワイヤボンダSWB-FA-UT-3は、当社開発のマイクロコンピュータと検出器を搭載することにより、制御と位置補正の自動化に成功。世界初の完全無人機として、従来の手動ボンダに比べて10倍の生産性を実現。1982年には、米国、半導体製造機器・材料関連会社の業界団体であるSEMIから、同装置の開発が半導体産業の一大技術革新として表彰された。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/11/27
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