プロキシミティー・マスク・アライナー PLA-501FA

資料番号 : 113611610032
所在等 キヤノン株式会社 宇都宮光学機器事業所
所在地 栃木県宇都宮市
製作(製造)年 1978
種類 その他(カタログ)
製作者(社)等 キヤノン株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 PLA501FAは 5インチウェーハ対応 近接(Proximity)方式の半導体露光装置として量産された。世界ではじめてレーザービーム走査の実用的な自動位置合わせ(オート・アライメント)機構とウエハー自動搬送機構(オートフィーダー)を搭載し、高い信頼性と生産性を提供した。PLA-500シリーズとして1978年から1995年までに 約2500台が生産された。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/11/27
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