(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
プロキシミティー・マスク・アライナー PLA-501FA |
資料番号 : 113611610032 |
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所在等 | キヤノン株式会社 宇都宮光学機器事業所 |
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所在地 | 栃木県宇都宮市 |
製作(製造)年 | 1978 |
種類 | その他(カタログ) |
製作者(社)等 | キヤノン株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | PLA501FAは 5インチウェーハ対応 近接(Proximity)方式の半導体露光装置として量産された。世界ではじめてレーザービーム走査の実用的な自動位置合わせ(オート・アライメント)機構とウエハー自動搬送機構(オートフィーダー)を搭載し、高い信頼性と生産性を提供した。PLA-500シリーズとして1978年から1995年までに 約2500台が生産された。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/11/27 |