集積化ガス供給システム IAGDシリーズ

資料番号 : 113611610031
所在等 CKD株式会社 春日井工場
所在地 愛知県春日井市
製作(製造)年 1992
種類 量産品
製作者(社)等 CKD株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 エッチャー装置やCVD装置等半導体製造装置のガス供給部は配管が大きく入り組んでいたり、溶接箇所も多くコンタミ(不純物)の原因となっていました。ガス供給ラインを構成するパーツを標準化することにより配管をシンプルにし、溶接箇所を極力削減したためコンタミの発生はほぼ無くなりました。またパーツの標準化に当たっては組立性を考慮した設計とし、組立やメンテナンスの時間削減にも寄与しました。
資料公開状況 非公開
調査票記入日 2014/11/27
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