(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
集積化ガス供給システム IAGDシリーズ |
資料番号 : 113611610031 |
---|
所在等 | CKD株式会社 春日井工場 |
---|---|
所在地 | 愛知県春日井市 |
製作(製造)年 | 1992 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | CKD株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | エッチャー装置やCVD装置等半導体製造装置のガス供給部は配管が大きく入り組んでいたり、溶接箇所も多くコンタミ(不純物)の原因となっていました。ガス供給ラインを構成するパーツを標準化することにより配管をシンプルにし、溶接箇所を極力削減したためコンタミの発生はほぼ無くなりました。またパーツの標準化に当たっては組立性を考慮した設計とし、組立やメンテナンスの時間削減にも寄与しました。 |
資料公開状況 | 非公開 |
調査票記入日 | 2014/11/27 |