半導体露光用SUVランプ

資料番号 : 113611610028
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1991
種類 量産品
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 64Mビット、256Mビットと進む半導体の微細化、高集積化に対応するため、業界に先駆けて開発。従来のランプと異なり、i線を主波長としている。また、1999年から2001年にかけて、さらに照度を20%高めた高照度タイプと、照度の減衰を抑えた高維持率タイプを開発。ランプ出力においても2.5kWから5kWまでラインナップし、以降、半導体メーカーの生産性の向上に応えている。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/10/31
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