(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
半導体露光用SUVランプ |
資料番号 : 113611610028 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1991 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 64Mビット、256Mビットと進む半導体の微細化、高集積化に対応するため、業界に先駆けて開発。従来のランプと異なり、i線を主波長としている。また、1999年から2001年にかけて、さらに照度を20%高めた高照度タイプと、照度の減衰を抑えた高維持率タイプを開発。ランプ出力においても2.5kWから5kWまでラインナップし、以降、半導体メーカーの生産性の向上に応えている。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |