(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
シリコンエピタキシャル結晶膜成長用ハロゲンヒータランプ「HHシリーズ」 |
資料番号 : 113611610024 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1982 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | ハロゲンヒータランプは、高効率でクリーンなエネルギー、急速高温加熱が可能、長寿命で安定したエネルギー放射など、ハロゲンランプの特長を活かした加熱用ランプである。HHシリーズは、これらに加え、加熱の均一性、エネルギー制御の素早さ、取扱いの簡便性などがアメリカの大手半導体製造装置メーカーに評価され、シリコンエピタシャル結晶膜成長装置の光加熱源として採用された。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |