(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
超LSI焼付け用大出力ディープUVランプ |
資料番号 : 113611610023 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1977 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | ランプ出力をこれまでの500Wから1kW、2kWにパワーアップし、ウエハー基板の焼付け時間を数分から数十秒に短縮した。この大出力化技術は、のちの半導体フォトリソグラフィ用ランプやプリント基板露光用ランプの高照度化の基礎となる。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |