(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
LSI焼付け用ディープUVランプ |
資料番号 : 113611610022 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1976 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 露光装置メーカーの要請に応えて開発。IC焼付け用として定着していた350W超高圧水銀ランプに比べ、より短波長である230~320nmの遠紫外光を放射し、ランプ出力も500Wに高めた。これにより、LSI、超LSIへの微細化、高集積化に対応した。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |