LSI焼付け用ディープUVランプ

資料番号 : 113611610022
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1976
種類 量産品
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 露光装置メーカーの要請に応えて開発。IC焼付け用として定着していた350W超高圧水銀ランプに比べ、より短波長である230~320nmの遠紫外光を放射し、ランプ出力も500Wに高めた。これにより、LSI、超LSIへの微細化、高集積化に対応した。
資料公開状況 公開
調査票記入日 2014/10/31
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