(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
フォトリソグラフィ実験用光源装置 UI-501C |
資料番号 : 113611610020 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1966 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 超高圧水銀ランプの光をミラーとコンデンサレンズで集光し、コリメータレンズで平行光に変え、高輝度で均一な光を取り出す。ICのフォトリソグラフィ研究が精力的に行われていた国内半導体メーカー各社に、安価で手軽さが評価され、露光装置の代用機として簡便な実験に使われた。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |