(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
IC焼付け用超高圧水銀ランプ USH-250D |
資料番号 : 113611610019 |
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所在等 | ウシオ電機株式会社 |
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所在地 | 東京都千代田区 |
製作(製造)年 | 1965 |
種類 | 量産品 |
製作者(社)等 | ウシオ電機株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | IC露光装置の交換用ランプとして開発。輝点が小さく、紫外域の輝線スペクトルが安定していることから、取扱いや光学設計が容易となり、多くの国内半導体メーカーに採用された。このランプは、その後にトップシェア製品となった「USH-350D」をはじめ、「ディープUVランプ」「SUVランプ」など、露光用光源の技術ベースとなる。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/31 |