IC焼付け用超高圧水銀ランプ USH-250D

資料番号 : 113611610019
所在等 ウシオ電機株式会社
所在地 東京都千代田区
製作(製造)年 1965
種類 量産品
製作者(社)等 ウシオ電機株式会社
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 IC露光装置の交換用ランプとして開発。輝点が小さく、紫外域の輝線スペクトルが安定していることから、取扱いや光学設計が容易となり、多くの国内半導体メーカーに採用された。このランプは、その後にトップシェア製品となった「USH-350D」をはじめ、「ディープUVランプ」「SUVランプ」など、露光用光源の技術ベースとなる。
資料公開状況 公開
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