(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
光素子用サブミクロンボンダー OF2000 |
資料番号 : 113611610015 |
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所在等 | 東レエンジニアリング株式会社 |
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所在地 | 滋賀県大津市 |
製作(製造)年 | 1999 |
種類 | 設計図・文献、写真 |
製作者(社)等 | 東レエンジニアリング株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | 1999年時点で世界最高の精度であるサブミクロンレベルのアライメントを実現したボンダー。光学素子の実装用に開発され、±0.5μm@3σのアライメント精度を達成したが、この装置のために開発された高精度実装のための諸技術が、その後の高精度ボンダーの基礎となった。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/09/19 |