(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
ウェーハ外観検査装置インスペクトラ INSPECTRA1000 |
資料番号 : 113611610014 |
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所在等 | 東レエンジニアリング株式会社 |
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所在地 | 滋賀県大津市 |
製作(製造)年 | 1992-1997 |
種類 | 写真 |
製作者(社)等 | 東レエンジニアリング株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | パターン付きウェーハの外観検査装置。OSI社から技術導入し、当事、東レ株式会社が開発。INSPECTRA1000は国産化した東レ初のオリジナルモデル。2000年に東レエンジニアリング(株)へ事業移管されたあとも、INSPECTRAシリーズは新機種開発を継続し、現在も販売中。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/24 |