(データは調査時のものです。最新の状況とは一致しない場合があります。)
可変面積型電子ビーム描画装置 JBX-6A |
資料番号 : 113611610013 |
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所在等 | 日本電子株式会社 |
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所在地 | 東京都昭島市 |
製作(製造)年 | 1977 |
種類 | 設計図・文献、写真 |
製作者(社)等 | 日本電子株式会社 |
調査機関団体 | 日本半導体製造装置協会 |
特徴 | JBX-6Aは世界で最初に商品化された加速電圧20kVの可変面積型の電子ビーム描画装置である。可変面積型電子ビームを用いる事により従来のスポット型電子ビーム描画装置と比較して飛躍的に描画速度を向上させる事ができた。現在の半導体素子生産に不可欠であるスク製作用電子ビーム描画装置は可変面積型電子ビーム方式が採用されており、JBX-6Aはマスク製作用電子ビーム描画装置開発に貢献する機械の先駆けとなった。 |
資料公開状況 | 公開 |
調査票記入日 | 2014/10/08 |