ウェーハダイシングマシン A-WD-75A

資料番号 : 113611610010
所在等 株式会社東京精密
所在地 東京都八王子市
製作(製造)年 1970
種類 写真
製作者(社)等 (株)東京精密 
調査機関団体 日本半導体製造装置協会
特徴 日本初ウェーハダイシングマシンの1号機。3インチウェーハ対応。洗浄装置を備える。薄いブレード(刃)を高速回転させて水を流しながら切る方式を採用。チップ分割工程の精度と能率の向上に貢献。
資料公開状況 公開
本データベース記載の画像及びテキストの複製・転載を禁じます

検索結果一覧へ戻る